半導(dǎo)體芯片制造工半導(dǎo)體芯片制造中級工問答題每日一練(2019.05.10)

問答題
集成電容主要有哪幾種結(jié)構(gòu)？
答案：
①金屬-絕緣體-金屬（MIM）結(jié)構(gòu)；
②多晶硅/金屬-絕緣體-多晶硅結(jié)構(gòu)；
③金屬叉指結(jié)構(gòu)；
④PN結(jié)電容；
⑤MOS電容。
問答題
什么叫光刻？光刻工藝質(zhì)量的基本要求是什么？
答案：光刻是一種圖形復(fù)印和化學(xué)腐蝕相結(jié)合的精密表面加工技術(shù)。
對光刻工藝質(zhì)量的基本要求是：刻蝕的圖形完整、尺寸準(zhǔn)確、...
問答題
為什么說潔凈技術(shù)是半導(dǎo)體芯片制造過程中的一項重要技術(shù)？
答案：半導(dǎo)體芯片制造，尤其是隨著高度集成復(fù)雜電路和微波器件的發(fā)展，要求獲得細(xì)線條、高精度、大面積的圖形，各種形式的污染都將嚴(yán)重...
問答題
敘述H2還原SiCl4外延的原理，寫出化學(xué)方程式。
答案：在氣相外延生長過程中，首先是反應(yīng)劑輸運到襯底表面；接著是它在襯底便面發(fā)生反應(yīng)釋放出硅原子，硅原子按襯底晶向成核，長大成為...
問答題
操作人員的質(zhì)量職責(zé)是什么？
答案：操作人員的質(zhì)量職責(zé)是：（1）按規(guī)定接受培訓(xùn)考核，以達(dá)到所要求的技能、能力和知識；（2）嚴(yán)格按工藝規(guī)范和工藝文件進(jìn)行操作，...