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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述物理氣相沉積原理及其應(yīng)用。
答案:
(1) 原理:利用某種物理過(guò)程,如物質(zhì)的熱蒸發(fā)或在受到粒子轟擊時(shí)物質(zhì)表面原子的濺射等現(xiàn)象,實(shí)現(xiàn)物質(zhì)原子從源物質(zhì)...
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