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【簡(jiǎn)答題】如何利用CVD制備金屬間化合物薄膜?
答案:
一般認(rèn)為CVD成膜有幾個(gè)主要階段:反應(yīng)氣體向襯底表面的輸送擴(kuò)散;反應(yīng)氣體在襯底表面的吸附;襯底表面氣體間的化學(xué)反應(yīng),生成...
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答案:
(1)惰性氣體凝聚原位加壓成型法:
合成過(guò)程分為兩步:氣體冷凝獲得納米粉末,納米粉末被加壓致密。整個(gè)過(guò)程是在超...
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