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【簡答題】氣相法可分為哪些?
答案:
(1)物理氣相沉積,用物理凝聚的方法將多晶原料經(jīng)過氣相轉(zhuǎn)化為單晶體,如升華-凝結(jié)法、分子束外延法和陰極濺射法;
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