填空題

在MOCVD過程中，金屬有機源可以在（）或（）作用下，在較低溫度沉積出相應的各種無機材料。

答案：熱解；光解

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電解槽中的離子導體除常見的電解質溶液外，尚有（）、（）或超臨界流體等。

答案：熔鹽；固體電解質

電極過程大致可分為以下三類：（）、氣體電極過程和電解氧化還原。

答案：金屬電極過程

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