填空題

離子束撞擊工件將引起變形、分離、嵌入、破壞等（）作用，而不像電子束是通過(guò)（）效應(yīng)進(jìn)行加工。

答案：機(jī)械；熱

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在電子工業(yè)中，離子注入成為了微電子工藝中的一種重要的（），也是控制MOSFET閾值電壓的一個(gè)重要手段。

答案：摻雜技術(shù)

金屬的離子注入改性目的在于提高金屬的（）性能、（）強(qiáng)度和（）性能。

答案：硬度、耐腐蝕；抗疲勞；潤(rùn)滑