填空題

在擴散之前在硅表面先沉積一層雜質(zhì),在整個過程中這層雜質(zhì)作為擴散的雜質(zhì)源,不再有新的雜質(zhì)補充,這種擴散方式稱為:()

答案: 恒定表面源擴散
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