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單項選擇題
用高能粒子從某種物質的表面撞擊出原子的物理過程叫()。
A.蒸鍍
B.離子注入
C.濺射
D.沉積
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多項選擇題
真空鍍膜室是由()幾部分組成。
A.鐘罩
B.蒸氣源加熱器
C.襯底加熱器
D.活動擋板
E.底盤
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單項選擇題
真空鍍膜室內,在蒸發(fā)源加熱器與襯底加熱器之間裝有活動擋板,用來()。
A.隔擋氣體交換
B.控制蒸發(fā)的過程
C.輔助熱量交換
D.溫度調節(jié)
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