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答案：對工藝過程建立數(shù)學模型，在某些已知工藝參數(shù)的情況下，對工藝過程進行數(shù)值求解，計算經(jīng)過該工序后的雜質濃度分布、結構特性變化...

答案：

給定器件結構和摻雜分布，采用數(shù)值方法直接求解器件的基本方程，得到直流（DC.、交流（AC.、瞬態(tài)特性和某些電學參數(shù)））。