填空題

集成電路制造通常包括集成電路設(shè)計(jì)、工藝加工、（）、封裝等工序。

答案：測(cè)試

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集成電路的特征尺寸是衡量集成電路加工工藝水平和（）的主要指標(biāo)。

答案：設(shè)計(jì)水平

集成電路的特征尺寸有時(shí)也稱(chēng)線寬，通常是指集成電路中半導(dǎo)體器件的（）。

答案：最小尺度