填空題

終點檢測是指（）的一種檢測到平坦化工藝把材料磨到一個正確厚度的能力。兩種最常用的原位終點檢測技術是（）和（）。

答案： CMP設備；電機電流終點檢測；光學終點檢測

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寫出三種半導體制造業(yè)的金屬和合金（）、（）和（）。

答案： Al；Cu；鋁銅合金

在半導體制造業(yè)中，最早的互連金屬是（），在硅片制造業(yè)中最普通的互連金屬是（），即將取代它的金屬材料是（）。

答案：鋁；鋁；銅