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冶金級(jí)硅的純度為98%。
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半導(dǎo)體級(jí)硅的純度為99.9999999%。
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制作鎢塞的主要工藝步驟是:1、();2、();3、();4、磨拋鎢。
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鈦淀積阻擋層;氮化鈦淀積;鎢淀積
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