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世界上第一塊集成電路是用硅半導體材料作為襯底制造的。
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硅片制造廠可分為六個獨立的區(qū)域,各個區(qū)域的照明都采用同一種光源以達到標準化。
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人員持續(xù)不斷地進出凈化間,是凈化間沾污的最大來源。
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