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光刻膠
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感光性樹脂受光的照射而產(chǎn)生化學反應(yīng)(交聯(lián)或降解)或其他結(jié)構(gòu)變化,使溶解性能發(fā)生顯著變化,不溶解的樹脂對底材具有抗化學腐蝕...
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光量子效率
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