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短溝道效應（Short Channel Effect）

答案： 短溝道效應主要是指閾值電壓與溝道相關到非常嚴重的程度。源-漏兩極的p-n結將參與對位于柵極下的硅的耗盡作用，同柵極爭奪對...
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方塊電阻（薄層電阻）
答案：

方塊電阻的大小直接反映了擴散入硅內部的凈雜質總量。
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固溶度（solubility）
答案：

在平衡條件下，雜質能溶解在硅中而不發(fā)生反應形成分凝相的最大濃度。
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