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名詞解釋

分辨率R

答案：

是對(duì)光刻工藝可以到達(dá)的最小光刻圓形尺寸的一種描述。

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ULSI對(duì)光刻的要求

答案：

高分辨率；高靈敏光刻膠；低缺陷；精密的套刻對(duì)準(zhǔn)。

刻蝕

答案：

通過(guò)腐蝕，將光刻膠上圖形完整整地轉(zhuǎn)移到Si片上。