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瓷環(huán)孔直徑選擇:=晶片對角尺寸+0.2~0.5mm。上電極選擇:晶片長邊尺寸≤4.0mm,上電極直徑為2mm,晶片長邊尺寸>4.0mm,上電極直徑為4mm。
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進(jìn)入清洗凈化間時,在風(fēng)淋室內(nèi)風(fēng)淋的時間為15秒。
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RBS清洗液的配比為RBS清洗液:純水=1:80,清洗液每8小時更換一次。
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