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問答題
【簡答題】解釋掃描投影光刻機是怎樣工作的？掃描投影光刻機努力解決什么問題？
答案：
掃描投影光刻機的概念是利用反射鏡系統(tǒng)把有1：1圖像的整個掩膜圖形投影到硅片表面，其原理是，紫外光線通過一個狹縫聚焦在硅片...
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問答題
【簡答題】例舉并描述光刻中使用的兩種曝光光源。
答案：
汞燈，高壓汞燈，電流通過裝有氙汞氣體的管子產(chǎn)生電弧放電，這個電弧發(fā)射出一個特征光譜，包括240納米到500納米之間有用的...
