問答題

【簡答題】描述CVD反應中的8個步驟。

答案:

1)質(zhì)量傳輸
2)薄膜先驅(qū)物反應
3)氣體分子擴散
4)先驅(qū)物吸附
5)先驅(qū)物擴散進襯底
6)表面反應
7)副產(chǎn)物解吸
8)副產(chǎn)物去除

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