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【簡(jiǎn)答題】白片厚度差如何調(diào)整?
答案:
(1)用檢測(cè)儀測(cè)量白片厚度差;
(2)若需要調(diào)整在白片上作好標(biāo)記,用反射率測(cè)出的白片的薄厚分布情況,做好記錄;...
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【簡(jiǎn)答題】偏心超過(guò)20怎么辦?
答案:
首先要分析原因,是否是母盤(pán)的原因;其次找工藝工程師調(diào)整;最后找設(shè)備工程師調(diào)整模具。
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【簡(jiǎn)答題】母盤(pán)吸真空度不足怎么辦?
答案:
首先,檢查吸真空過(guò)濾器是否臟,如果臟,用酒精清洗并用風(fēng)槍吹干即可。如果不臟,檢查氣路是否有漏氣的地方。
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