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回收、充裝SF
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氣體時(shí)設(shè)備抽真空時(shí),嚴(yán)禁用抽真空的時(shí)間長短來估計(jì)真空度,抽真空所連接的管路一般超過5米。
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回收、充裝SF
6
氣體時(shí)選用的真空泵其功率等技術(shù)參數(shù)應(yīng)必須滿足氣室抽真空的最高要求,管徑大小及強(qiáng)度、管道長度、接頭口徑應(yīng)與被抽真空的氣室大小相匹配。
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回收、充裝SF
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氣體時(shí)周圍環(huán)境的相對(duì)濕度應(yīng)不大于60%。
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