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【簡答題】掃描電鏡的分辨率和哪些因素有關?為什么?
答案:
和所用的信號種類和束斑尺寸有關,因為不同信號的擴展效應不同,例如二次電子產(chǎn)生的區(qū)域比背散射電子小。束斑尺寸越小,產(chǎn)生信號...
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