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諧振式微傳感器是利用某種諧振子的振動(dòng)力隨被測(cè)量的變化而變化來進(jìn)行測(cè)量的一種傳感器。
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壓力微傳感器廣泛應(yīng)用于汽車電子:如TPMS(輪胎壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng))、發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力傳感器、汽車剎車系統(tǒng)等。
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壓阻式微傳感器是在單晶半導(dǎo)體膜片適當(dāng)部位擴(kuò)散形成力敏電阻而構(gòu)成的。
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