問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】硅諧振式傳感器是怎樣工作的？

答案： 硅諧振式傳感器利用在一塊單晶硅芯片上一個(gè)在硅片中央，一個(gè)在硅片邊緣的兩個(gè)H型諧振梁在被測(cè)壓力作用下，一個(gè)受壓，一個(gè)受拉，...
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調(diào)零位、量程：輸入壓力為零，調(diào)...
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