1、更換探針后、 2、線間差超過0.1%、 3、與校準(zhǔn)片標(biāo)定值超過0.05% 4、生產(chǎn)維護(hù)后需要走片時
1把硅片擦拭干凈 2把硅片送到制絨車間清洗干凈 3送到刻蝕車間進(jìn)行烘干、鍍膜 4再次送回印刷集中一條線下傳