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激光干涉儀對(duì)位置精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。
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柱式橋架型比床式橋架型有較大且更好的剛性,大部分用在較大型的三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x上。
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自準(zhǔn)直儀是利用光學(xué)自準(zhǔn)直原理測(cè)量微小角度變化的儀器,也可以對(duì)平直接面與直線度。
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