A.比色法 B.雙光干涉法 C.橢圓偏振光法 D.腐蝕法 E.電容-電壓法
A.加強工藝操作 B.加強人體和環(huán)境衛(wèi)生 C.使用高純化學試劑、高純水和超凈設備 D.采用HCl氧化工藝 E.硅片清洗后,要充分烘干,表面無水跡
A.臨界劑量 B.飽和劑量 C.無損傷劑量 D.零點劑量
A.晶核 B.晶粒 C.核心 D.核團
A.粒子的擴散 B.化學反應 C.從氣體源通過強迫性的對流傳送 D.被表面吸附
A.LPCVD B.PECVD C.CVD D.PVD
A.酸 B.堿 C.弱酸 D.弱堿