填空題

等離子增強反應(yīng)沉積中，由于等離子體中（）、（）和（）相互碰撞，可以大大降低沉積溫度，例如硅烷和氨氣的反應(yīng)在通常條件下，約在850℃左右反應(yīng)并沉積氮化硅，但在等離子體增強反應(yīng)的條件下，只需在350℃左右就可以生成氮化硅。

答案： 正離子；電子；中性反應(yīng)分子
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