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電子束可以當(dāng)成車刀一樣,讓工件回轉(zhuǎn)對(duì)外圓表面切槽,此時(shí)工件回轉(zhuǎn)是進(jìn)給運(yùn)動(dòng)。
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電子束光刻主要用于制作掩膜。
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電子束可以通過(guò)磁透鏡聚焦,并靠偏轉(zhuǎn)線圈實(shí)現(xiàn)小角度的偏轉(zhuǎn),擴(kuò)大加工區(qū)域。
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