填空題

（）加工是目前特種加工工藝方法中最精密、最微細的加工方法。

答案：離子束

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離子束撞擊工件將引起變形、分離、嵌入、破壞等（）作用，而不像電子束是通過（）效應進行加工。

答案：機械；熱

在電子工業(yè)中，離子注入成為了微電子工藝中的一種重要的（），也是控制MOSFET閾值電壓的一個重要手段。

答案：摻雜技術