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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】為什么要采用LDD工藝？它是如何減小溝道漏電流的？

答案：溝道長(zhǎng)度的縮短增加了源漏穿通的可能性，將引起不需要的漏電流，所以需要采用LDD工藝。輕摻雜漏注入使砷和BF2這些較大質(zhì)量...

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【簡(jiǎn)答題】光刻和刻蝕的目的是什么？
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問(wèn)答題
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答案：
推進(jìn)，激活雜質(zhì)，修復(fù)損傷。

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