問答題

【簡答題】光刻中采用步進(jìn)掃描技術(shù)獲得了什么好處?

答案: 增大了曝光場,可以獲得較大的芯片尺寸,一次曝光可以多曝光些芯片,它還具有在整個掃描過程調(diào)節(jié)聚焦的能力。
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【簡答題】解釋掃描投影光刻機(jī)是怎樣工作的?掃描投影光刻機(jī)努力解決什么問題?

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【簡答題】光學(xué)光刻中影響圖像質(zhì)量的兩個重要參數(shù)是什么?

答案: 分辨率和焦深。
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