火炬裝置三臺屏蔽泵互為備用。

答案：錯誤

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判斷題
屏蔽泵用靜密封取代了旋轉(zhuǎn)軸密封。
答案：正確
判斷題
屏蔽泵允許不超過60秒的抽空。
答案：錯誤

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