A、調(diào)整內(nèi)外排溫度分布 B、調(diào)整機(jī)器內(nèi)的真空度分布 C、調(diào)整內(nèi)外排膜厚分布 D、調(diào)整同圈厚度分布
A、鍍膜材料受到污染 B、內(nèi)外排分布不均勻 C、溫度沒有加 D、充氧不夠
A、電子槍 B、擴(kuò)散泵 C、坩堝盤 D、晶振頭