A、材料本身不純,有雜質 B、預熔時沒熔透,鍍膜時有飛濺 C、光斑打到邊緣或外邊,將其它物質鍍到鏡片上 D、坩堝蓋板太臟,預熔時有膜料殘渣掉進坩堝
(1)真空蒸鍍 (2)電鍍 (3)化學反應 (4)熱處理 (5)物理或機械處理
A、使同圈的膜層厚度分布均勻 B、使內外排膜層厚度分布均勻 C、使同圈溫度分布均勻 D、使內外排溫度分布均勻
A、各類泵油使用時間太長,已變質 B、POLYCOLD有問題 C、真空室的清潔不到位 D、機器有漏氣
主要目的是快速冷卻,由于氬氣是不活潑性氣體,很難與離子源部件發(fā)生氧化。